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半导体溅射靶材

作者:jiaruixing 浏览: 发表时间:2018-11-15 20:14:42
 

半导体溅射靶材溅射工艺属于物理气相沉积(PVD)技术的一种,是制备电子薄膜材料的主要技术之一。在电子信息产业的发展过程中,金属薄膜的制备十分重要。溅射工艺利用离子源产生的离子,在真空中加速聚集成高速离子流,轰击固体表面,离子和固体表面的原子发生动能交换,使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面,从而形成纳米(或微米)薄膜。被轰击的固体是溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用,因此,靶材是溅射过程的关键材料。

磁控溅射靶材工作原理.jpg

半导体靶材是晶圆制造重要的原材料, 主要以铜靶、铝靶、钛靶和钽靶等为主。 半导体芯片行业历经半个世纪,目前仍遵循着“摩尔定律”向前发展。在晶圆制造方面,芯片尺寸不断减小(目前主流 28 纳米以下),同时晶圆尺寸不断增大以进一步降低成本(目前 12 英寸是主流)。在集成电路领域主要应用在晶圆制造和先进封装过程中。为了满足半导体芯片高精度、小尺寸的需求,芯片制造对溅射靶材纯度要求很高,通常需达 99.9995%(5N5)甚至 99.9999%(6N)以上。

中诺新材是专业的靶材制造商,我们可以提供半导体晶圆制造和先进封装用的4-12寸各种靶材,纯度及用途如下:

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另外我公司可根据客户需求定制生产不同的晶粒晶向的靶材,能够和客户一起开发特制的各种类型的靶材。


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